钢板感光胶

1、 特性
1)LMR在Deep UV 光下有极高的感光度、灵敏性及解像性。是显像突出的负性感光抗蚀剂。

2)FSMR在制版时用1线。

3)LMR，FSMR能蚀刻难于蚀刻的Al, Pt, Ti 等，也适合GaAs基板的处理。

5)烘烤
  在热风恒温干燥中，用100±2℃的温度，烤30分钟或者用电炉在100±2℃的温度烤10分钟。

6)显像、洗涤
  浸渍、喷雾等后显像形成，在基板表面可以确认时，可调整到最好。
  FSMR使用FSMR显像液C类型，温度为23℃，时间为60秒。
  洗涤时，使用各专用的洗涤液，温度23℃，时间90秒。

7)等离子体
  圆柱形等离子体在基板上加热（02，200W，0. 1Torr，15秒）。
  通常100℃以下，max. 140℃。

8） Lift-off process
  基板遇热温度Temparature of bakin Below 110℃ 110-140℃　　　 140-200℃
  剥膜液Remover Acetone or DMF LMR remover asher