3轴精密对位平台
■ 采用共平面结构设计,大幅提高平面移动精度。■ 与以往的三轴叠加结构的对位平台相比更加轻薄。■ 调整三轴滑台位置可方便的改变平台的尺寸和移动量。■ 专用的控制软件仅需通过简单的设定即可实现不同平台的精确控制。■ 技术规格