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ITO薄膜的特性及用途
丝印特印网  2021-08-19

    【集萃网观察】

ITO薄膜是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(EL/OLED)、触摸屏(TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料。

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ITO薄膜具有复杂的立方铁锰矿结构,其特性主要有:

(1)导电性能好(电阻率可低达10-4Ω·cm),带隙宽3.5~4.3eV,载流子浓度(1021cm-3)和电子迁移率(15~45cm2V-1s-1)较高;

(2)在可见光波段透过率,可达85%以上;

(3)对紫外线的吸收率较高,可达85%以上;

(4)对红外线具有反射性,反射率高于80%;

(5)对微波具有衰减性,衰减率可达85%以上;

(6)膜层硬度高,耐磨,耐化学腐蚀(氢氟酸等除外);

(7)膜层具有很好的酸刻、光刻性能,便于细微加工,可以被刻蚀成不同的电图案。

随着显示器件行业的飞速发展,对ITO薄膜的产品性能特性提出了新的要求。同时ITO薄膜制备技术的深入发展,使显示器件的需要变成可能。不同性能的ITO薄膜可以在不同显示器件中的应用。

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